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氣體放電與等離子體診斷儀

SSV-40型氣體放電與等離子體診斷儀由東北大學真空與流體工程研究所教授團隊研究開發，面向全國各高校。 整套設備包括朗繆爾探針、氣體放電管、測量系統、真空系統、進氣系統等部分組成。 朗繆爾探針、工作電壓、工作氣壓、氣體流量等部分均可獨立控制并且自由調節。