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從傳統上講，射頻探針的接觸是用鈹（beryllium）-銅（BeCu）制作的。而且人們最早采用射頻探針技術與今天的工具是很不相同的，之后工程師在探針技術上取得了突破，才確定了射頻探針的基本要求和工作原理，   射頻（RF）探針在射頻產品生命周期中幾乎每一個階段都起著重要作用：從技術開發，模型參數提取，設計驗證及調試一直到小規模生產測試和最終的生產測試。通過使用射頻探針，人們便有可能在晶片層次上測量射頻組件的真正特性。這可以將研究和開發時間縮短并且大大降低開發新產品的成本。   在僅僅三十年的時間里，射頻探針技術便取得了驚人的進步，從低頻測量到適用多種應用場合的商用方案：如在110GHz高頻和高溫環境進行阻抗匹配，多端口，差分和混合信號的測量裝置，連續波模式中直到60W的高功率測量，以及直到750GHz的太赫茲應用，都能見